参见:半导体器件制造和集成电路设计
从1930年代开始,元素周期表化学元素中的半导体被诸如贝尔实验室威廉·肖克利(William Shockley)的研究者认为是最适合做固态真空管的原料。这些原料在1940至50年代被系统地研究,从氧化铜开始,然后到锗,再到硅。现今,单晶硅是集成电路的主要基层,尽管元素周期表中的一些III-V价化合物(比如砷化镓)有特殊用途,例如发光二极管、激光、太阳能电池和最高速集成电路。发现无缺陷晶体的制造方法需要数十年的时间。
半导体集成电路制程,包括以下步骤,并重复使用:
光刻
刻蚀
薄膜(化学气相沉积或物理气相沉积)
掺杂(热扩散或离子注入)
化学机械平坦化CMP
使用单晶硅晶圆(或III-V族,如砷化镓)用作基层,然后使用光刻、掺杂、CMP等技术制成MOSFET或BJT等元件,再利用薄膜和CMP技术制成导线,如此便完成晶片制作。因产品效能需求及成本考量,导线可分为铝制程(以溅镀为主)和铜制程(英语:Copper interconnect)(以电镀为主参见Damascene(英语:Damascene))。[2][3][4]主要的制程技术可以分为以下几大类:黄光微影、蚀刻、扩散、薄膜、平坦化制成、金属化制成。
IC由很多重叠的层组成,每层由影像技术定义,通常用不同的颜色表示。一些层标明在哪里不同的掺杂剂扩散进基层(成为扩散层),一些定义哪里额外的离子灌输(灌输层),一些定义导体(多晶硅或金属层),一些定义传导层之间的连接(过孔或接触层)。所有的元件由这些层的特定组合构成。
在一个自排列(CMOS)过程中,所有门层(多晶硅或金属)穿过扩散层的地方形成晶体管。
电阻结构,电阻结构的长宽比,结合表面电阻系数,决定电阻。
电容结构,由于尺寸限制,在IC上只能产生很小的电容。
更为少见的电感结构,可以制作芯片载电感或由回旋器模拟。
因为CMOS设备只引导电流在逻辑门之间转换,CMOS设备比双极型元件(如双极性晶体管)消耗的电流少很多,也是现在主流的元件。透过电路的设计,将多颗的电晶体管画在矽晶圆上,就可以画出不同作用的集成电路。
随机存取存储器是最常见类型的集成电路,所以密度最高的设备是存储器,但即使是微处理器上也有存储器。尽管结构非常复杂-几十年来芯片宽度一直减少-但集成电路的层依然比宽度薄很多。元件层的制作非常像照相过程。虽然可见光谱中的光波不能用来曝光元件层,因为他们太大了。高频光子(通常是紫外线)被用来创造每层的图案。因为每个特征都非常小,对于一个正在调试制造过程的过程工程师来说,电子显微镜是必要工具。
在使用自动测试设备(ATE)包装前,每个设备都要进行测试。测试过程称为晶圆测试或晶圆探通。晶圆被切割成矩形块,每个被称为裸晶(“die”)。每个好的die被焊在“pads”上的铝线或金线,连接到封装内,pads通常在die的边上。封装之后,设备在晶圆探通中使用的相同或相似的ATE上进行终检。测试成本可以达到低成本产品的制造成本的25%,但是对于低产出,大型和/或高成本的设备,可以忽略不计。
在2005年,一个制造厂(通常称为半导体工厂(英语:Semiconductor fabrication plant),常简称fab,指fabrication facility)建设费用要超过10亿美元,因为大部分操作是自动化的。
封装
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2019年AMD公司Ryzen5-3600处理器的积体电路未封装状态,内部结构可见。
最早的集成电路使用陶瓷扁平封装,这种封装很多年来因为可靠性和小尺寸继续被军方使用。商用电路封装很快转变到双列直插封装,简单来说,即开始是陶瓷,之后是塑料。1980年代,VLSI电路的针脚超过了DIP封装的应用限制,最后导致插针网格阵列和芯片载体的出现。
表面贴着封装在1980年代初期出现,该年代后期开始流行。它的针脚使用更细的间距,引脚形状为海鸥翼型或J型。以小尺寸集成电路(SOIC)为例,比相等的DIP面积少30-50%,厚度少70%。这种封装在两个长边有海鸥翼型引脚突出,引脚间距为0.05英寸。
小尺寸集成电路(SOIC)和PLCC封装。1990年代,尽管PGA封装依然经常用于高端微处理器。PQFP和薄型小尺寸封装(TSOP)成为高引脚数设备的通常封装。Intel和AMD的高端微处理器现在从PGA(Pine Grid Array)封装转到了平面网格阵列封装(Land Grid Array,LGA)封装。
球栅阵列封装封装从1970年代开始出现,1990年代开发了比其他封装有更多管脚数的覆晶球栅阵列封装封装。在FCBGA封装中,晶片被上下翻转(flipped)安装,通过与PCB相似的基层而不是线与封装上的焊球连接。FCBGA封装使得输入输出信号阵列(称为I/O区域)分布在整个晶片的表面,而不是限制于晶片的外围。
如今的市场,封装采用技术与特性已经非常复杂,也已经是独立出来的一环,封装的技术也会影响到产品的品质及良率。